易度MFC赋能CVD硅碳负极工艺革新

应用案例

来源：武汉永盛科技发布日期：2026-06-18 被阅读：107

硅碳负极材料制备所使用的流化床设备，要求控制硅烷、乙炔、氮气、氩气等多种气体，需要确保硅烷或碳源气体与载气之间的比例恒定。易度MFC一台可切换多种气体，长期使用零漂小，控制快速稳定，已在硅碳负极材料制备设备中得到充分应用。自带电池的便携式流量计可方便地对设备中的MFC进行定期巡检。

泄漏率低、不易堵塞、-20℃~50℃可用、可在线校准

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