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应用案例
易度MFC助力半导体行业解决各类复杂测控需求
来源：武汉永盛科技
发布日期：2025-10-15
被阅读：174
光刻机的气路系统中，MFC是核心控制部件，高纯压缩空气或惰性气体通过MFC精确控制后进入光刻机，对特定部位的温度精确控制，确保双工件台的超高运动精度。
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